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更新日期:2024-03-24
簡(jiǎn)要描述:
日本sscooling半導(dǎo)體冷水機(jī)組Nikola 3K/5K用于等離子刻蝕和其他半導(dǎo)體應(yīng)用的高容量熱電冷水機(jī)組
品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 |
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冷卻方式 | 水冷式 | 儀器種類(lèi) | 分體式 |
日本sscooling半導(dǎo)體冷水機(jī)組Nikola 3K/5K
我們專(zhuān)為半導(dǎo)體加工而設(shè)計(jì)的最高容量冷水機(jī)組
3,000 或 5,000 瓦的冷卻能力
±0.05°C 溫度穩(wěn)定性/重復(fù)性
兩種泵選項(xiàng),流量高達(dá) 10 gpm,壓力高達(dá) 100+ psig
減少晶圓間的變化,消除晶圓效應(yīng)
比基于壓縮機(jī)的冷水機(jī)組節(jié)能高達(dá) 80%
采用熱電技術(shù),可靠性高,維護(hù)成本低
模塊化設(shè)計(jì),易于維護(hù)
消除氟利昂和其他有害制冷劑,符合新的環(huán)境法規(guī)
使用更少的設(shè)施水和昂貴的冷卻劑,如氟惰性或高登
通信接口可用于 AMAT、LAM、TEL 和 Hitachi 系統(tǒng)
通用電源 – 插入即可在世界任何地方使用
等離子蝕刻、等離子灰分、計(jì)量、CMP 和其他工藝的解決方案
規(guī)格