單晶圓晶圓清洗過程中波紋管泵的排出壓力不穩(wěn)定如何解決

發(fā)布日期：2022-11-18      瀏覽次數(shù)：765

單晶圓晶圓清洗過程中波紋管泵的排出壓力不穩(wěn)定如何解決



我負(fù)責(zé)半導(dǎo)體晶圓清洗工藝的設(shè)備。目前，我們正在做單晶圓晶圓清洗。
到目前為止，我們一直使用的波紋管泵在清洗噴嘴之間切換時(shí)不能很好地跟隨壓力波動(dòng)。結(jié)果，排放壓力不穩(wěn)定，清洗效果不一致。有什么好的方法可以解決這個(gè)問題嗎？

推薦使用無需阻尼器即可實(shí)現(xiàn)低脈動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)的“低脈動(dòng)波紋管泵FLP-60W"！



對于這種情況，推薦磐城的“低脈動(dòng)波紋管泵FLP-60W"！只要使用阻尼器，我認(rèn)為很難提高跟蹤性能。
在這方面，“低脈動(dòng)波紋管泵FLP-60W"憑借其機(jī)構(gòu)無需阻尼器即可低脈動(dòng)運(yùn)行，具有高負(fù)載跟隨性。因此，實(shí)現(xiàn)了排放量和排放壓力的穩(wěn)定運(yùn)行。
此外，由于往復(fù)泵*的慣性阻力小，與現(xiàn)有泵相比（與本公司相比），排出量和排出壓力增加。



憑借適合單晶圓工藝的出色負(fù)載跟隨性實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定運(yùn)行。氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵FLP系列

PULSERASER

• 無需阻尼器即可實(shí)現(xiàn)低脈動(dòng)和節(jié)省空間

• 通過波紋管焊接結(jié)構(gòu)防止液體泄漏的安全設(shè)計(jì)